提拉涂膜機(jī)是專門為液相(特別是溶膠-凝膠法)制備薄膜材料的研究工作而設(shè)計(jì)的。不同的液體浸拉生長(zhǎng)薄膜,提升速度、提升高度、浸漬時(shí)間、涂覆次數(shù)(多層涂覆)和涂覆間隔可連續(xù)調(diào)節(jié)和精確控制,對(duì)涂布基材、片材、塊、圓筒等沒(méi)有特殊要求。運(yùn)行穩(wěn)定,工作時(shí)液面無(wú)振動(dòng),可大大提高實(shí)驗(yàn)精度和效率,適用于硅片、晶片、玻璃、陶瓷、金屬等所有固體材料的表面鍍膜工藝。
提拉涂膜機(jī)多參數(shù)自動(dòng)程序控制,有六個(gè)參數(shù)設(shè)置:下降速度、浸漬時(shí)間、提拉速度、涂層尺寸、涂層次數(shù)和涂層間隔時(shí)間。所有參數(shù)都是連續(xù)可調(diào)和精確控制的。涂布程序設(shè)定后,從下降到浸涂,再到拉涂的整個(gè)涂布過(guò)程會(huì)自動(dòng)運(yùn)行。高低速運(yùn)行都很平穩(wěn),涂布時(shí)液面沒(méi)有振動(dòng),使薄膜更加均勻無(wú)條紋。
涂膜機(jī)直拉鍍膜法是一種廣泛應(yīng)用于科學(xué)研究的薄膜制備方法。這樣,可以在硅晶片或圓柱形襯底上鍍上均勻的薄膜。在工業(yè)制造商中,旋涂更常用。拉涂方式是將待涂基板浸入溶液中,在一定的溫度和空氣環(huán)境下,通過(guò)預(yù)設(shè)的速度緩慢拉出基板。
提拉涂膜機(jī)提拉過(guò)程可以分為5個(gè)步驟:
1、浸入溶液:將基板以預(yù)設(shè)速度(無(wú)任何抖動(dòng))浸入鍍液中。
2、浸泡:將基板在溶液中浸泡一定時(shí)間,然后準(zhǔn)備提拉。
3、沉積:在提拉的過(guò)程中,薄膜會(huì)沉積在基材上。提升速度必須穩(wěn)定,以避免任何抖動(dòng)。提拉速度是薄膜厚度的重要決定因素。(拉動(dòng)速度越快,薄膜厚度越厚)
4、溢流:在提拉過(guò)程中,多余的溶液會(huì)從襯底表面流出。
5、揮發(fā):溶劑從溶液中揮發(fā)出來(lái),在基材表面形成薄膜。揮發(fā)性溶劑,如酒精。揮發(fā)過(guò)程會(huì)在沉積和溢流過(guò)程中同時(shí)進(jìn)行。